Pattern inspecting system and pattern inspecting method

WO2007102421 Art A1 13. September 2007

Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007102421
Aktenzeichen: EP07737663
Anmeldetag: 2. März 2007
Veröffentlichung: 13. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00G01N23/225H01J37/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANTEST CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

1.227 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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