Device manufacturing method, device manufacturing system, and measuring/examining instrument

WO2007102484 Art A1 13. September 2007

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007102484
Aktenzeichen: EP07715241
Anmeldetag: 6. März 2007
Veröffentlichung: 13. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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