Substrate treating device system

WO2007102582 Art A1 13. September 2007

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007102582
Aktenzeichen: EP07738035
Anmeldetag: 8. März 2007
Veröffentlichung: 13. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B19/418H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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