Susceptor and semiconductor manufacturing apparatus including the same

WO2007105877 Art A1 20. September 2007

Anmelder: LG Innotek Co., Ltd 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007105877
Aktenzeichen
EP07715561
Anmeldetag
9. März 2007
Veröffentlichung
20. September 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LG Innotek Co., Ltd
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 LG Innotek

Südkoreanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Seoul, Tochtergesellschaft der LG-Gruppe. Entwickelt Komponenten für Kamera- und Optikmodule, Halbleiterträger, Motoren und Materialien für Mobilgeräte, Fahrzeuge und Displays.

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