Rf plasma-enhanced deposition of fluorinated films

WO2007106611 Art A2 20. September 2007

Anmelder: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007106611
Aktenzeichen: EP07756428
Anmeldetag: 24. Januar 2007
Veröffentlichung: 20. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24B32B27/00

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Abstract

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Anmelder

Firma: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wisconsin Alumni Research Foundation

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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