Film deposition apparatus and method of film deposition

WO2007108525 Art A1 27. September 2007

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007108525
Aktenzeichen: EP07739370
Anmeldetag: 15. März 2007
Veröffentlichung: 27. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/46

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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