Ceramic coating member for semiconductor processing apparatus

WO2007108546 Art A1 27. September 2007

Anmelder: Tokyo Electron Ltd., TOCALO CO. LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007108546
Aktenzeichen: EP07739557
Anmeldetag: 16. März 2007
Veröffentlichung: 27. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C28/00C23C4/10C23C4/18C23C26/00C23C28/04H01L21/304H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Ltd.
TOCALO CO. LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von