Structural member for plasma treatment system and method for manufacture thereof

WO2007111058 Art A1 4. Oktober 2007

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Nihon Ceratec Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007111058
Aktenzeichen: EP07714528
Anmeldetag: 20. Februar 2007
Veröffentlichung: 4. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C28/04C04B41/87C23C4/10C23C18/12H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOHOKU UNIVERSITY
Nihon Ceratec Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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