Method for smoothing a surface of a glass substrate, and substrate for a reflective mask blank used in euv lithography, obtainable by that method

WO2007111067 Art A1 4. Oktober 2007

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007111067
Aktenzeichen: EP07737356
Anmeldetag: 19. Februar 2007
Veröffentlichung: 4. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C03C17/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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