Optical scanning module and encoder

WO2007111228 Art A1 4. Oktober 2007

Anmelder: Nikon Corporation, Sendai Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007111228
Aktenzeichen
EP07739389
Anmeldetag
23. März 2007
Veröffentlichung
4. Oktober 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G02B26/10G01D5/38G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nikon Corporation
Sendai Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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