Surface processing apparatus

WO2007111251 Art A1 4. Oktober 2007

Anmelder: Sekisui Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007111251
Aktenzeichen
EP07739459
Anmeldetag
23. März 2007
Veröffentlichung
4. Oktober 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065B01J19/08C23C16/455H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sekisui Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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