Method of selectively depositing a thin film material at a semiconductor interface

WO2007111679 Art A2 4. Oktober 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007111679
Aktenzeichen
EP06850075
Anmeldetag
26. Oktober 2006
Veröffentlichung
4. Oktober 2007
Rechtsraum
WO
IPC
C11D7/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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