Emergency stop device, electronic-component testing device with the same, and emergency stop method for electronic component testing device

WO2007113918 Art A1 11. Oktober 2007

Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007113918
Aktenzeichen
EP06731291
Anmeldetag
6. April 2006
Veröffentlichung
11. Oktober 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01R31/26G01R31/28H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANTEST CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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