Ion Implanter
WO2007114120
Art A1
11. Oktober 2007
Anmelder: IHI Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2007114120
- Aktenzeichen
- EP07739912
- Anmeldetag
- 27. März 2007
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2007
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/317H01J37/04H01J37/09H01J37/244H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IHI Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
IHI Corporation
Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.
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