Wafer storing cabinet and storage control method thereof

WO2007114293 Art A1 11. Oktober 2007

Anmelder: Youth Engineering Co., Ltd., IHI Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007114293
Aktenzeichen: EP07740394
Anmeldetag: 29. März 2007
Veröffentlichung: 11. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B65G1/00B65G49/06B65G49/07H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Youth Engineering Co., Ltd.
IHI Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 IHI Corporation

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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