Method of forming minute metal bump

WO2007114314 Art A1 11. Oktober 2007

Anmelder: Kabushiki Kaisha Mikuni Kogyo, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007114314
Aktenzeichen: EP07740469
Anmeldetag: 30. März 2007
Veröffentlichung: 11. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/60C23C14/04C23C14/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kabushiki Kaisha Mikuni Kogyo
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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