Device substrate washing method

WO2007114448 Art A1 11. Oktober 2007

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited, NTT Advanced Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007114448
Aktenzeichen: EP07740933
Anmeldetag: 3. April 2007
Veröffentlichung: 11. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/42C11D7/50H01L21/027H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Asahi Glass Company, Limited
NTT Advanced Technology Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von