Method of transferring pattern and apparatus for transferring pattern

WO2007116469 Art A1 18. Oktober 2007

Anmelder: Fujitsu Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007116469
Aktenzeichen: EP06730795
Anmeldetag: 31. März 2006
Veröffentlichung: 18. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02B81C5/00B82B3/00G03F7/20G11B5/84H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujitsu Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujitsu

Japanisches Unternehmen für Informationstechnik, das Computer, Server, Netzwerktechnik sowie IT-Dienstleistungen und Softwarelösungen entwickelt und anbietet.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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