Dynamic metrology sampling with wafer uniformity control

WO2007117737 Art A2 18. Oktober 2007

Anmelder: Tokyo Electron Ltd., International Business Machines Corporation, International Business Machines Corporation IBM 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007117737
Aktenzeichen: EP07717382
Anmeldetag: 24. Januar 2007
Veröffentlichung: 18. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Ltd.
International Business Machines Corporation
International Business Machines Corporation IBM
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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