Multiple heater control system with expandable modular functionality

WO2007118156 Art A2 18. Oktober 2007

Anmelder: MKS Instruments, Inc., WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007118156
Aktenzeichen: EP07781432
Anmeldetag: 5. April 2007
Veröffentlichung: 18. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05B1/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: MKS Instruments, Inc.
WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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