Method and apparatus for simultaneous detection and measurement of charged particles at one or more levels of particle flux for analysis of same

WO2007118186 Art A2 18. Oktober 2007

Anmelder: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE, The Arizona Board of Regents on behalf of the University of Arizona, Indiana University Research and Technology Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007118186
Aktenzeichen: EP07760237
Anmeldetag: 6. April 2007
Veröffentlichung: 18. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
The Arizona Board of Regents on behalf of the University of Arizona
Indiana University Research and Technology Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Battelle Memorial Institute

Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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🇺🇸 The Arizona Board of Regents on Behalf of the University of Arizona

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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