Catalyst body chemical vapor phase growing apparatus

WO2007119700 Art A1 25. Oktober 2007

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007119700
Aktenzeichen: EP07741240
Anmeldetag: 9. April 2007
Veröffentlichung: 25. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/54H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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