Feeder for drug solution or ultrapurified water, board treating system, board treating device or board treating method

WO2007119745 Art A1 25. Oktober 2007

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, Tokyo Electron Ltd., Realize Advanced Technology Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007119745
Aktenzeichen: EP07741407
Anmeldetag: 11. April 2007
Veröffentlichung: 25. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304F16L11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOHOKU UNIVERSITY
Tokyo Electron Ltd.
Realize Advanced Technology Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

837 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von