Scanning Type Electronic Microscope

WO2007119873 Art A1 25. Oktober 2007

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007119873
Aktenzeichen: EP07741916
Anmeldetag: 12. April 2007
Veröffentlichung: 25. Oktober 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/141H01J37/14H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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