Method of treating a gas stream

WO2007122418 Art A1 1. November 2007

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007122418
Aktenzeichen: EP07733601
Anmeldetag: 2. April 2007
Veröffentlichung: 1. November 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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