Method of removing conductive metal oxide thin-film and apparatus therefor

WO2007122752 Art A1 1. November 2007

Anmelder: Hitachi Zosen Corporation, Hitz Hi-Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007122752
Aktenzeichen: EP06798294
Anmeldetag: 25. September 2006
Veröffentlichung: 1. November 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3063C03C23/00C25F3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi Zosen Corporation
Hitz Hi-Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Zosen

Hitachi Zosen ist ein japanischer Schwermaschinenbaukonzern mit Wurzeln im Schiffbau, heute unter anderem in der Umwelt- und Energietechnik aktiv. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2024.

521 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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