Liquid vaporization apparatus

WO2007125707 Art A1 8. November 2007

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007125707
Aktenzeichen
EP07739763
Anmeldetag
27. März 2007
Veröffentlichung
8. November 2007
Rechtsraum
WO
IPC
B01J4/00B01J7/00H01L21/027H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von

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