Apparatus for inspecting fine structure and method for inspecting fine structure

WO2007125756 Art A1 8. November 2007

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007125756
Aktenzeichen: EP07741505
Anmeldetag: 12. April 2007
Veröffentlichung: 8. November 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66B81C5/00G01P21/00G01R1/073G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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