Method and apparatus for laser processing

WO2007130986 Art A1 15. November 2007

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007130986
Aktenzeichen: EP07761691
Anmeldetag: 1. Mai 2007
Veröffentlichung: 15. November 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/324H01L21/477

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

334 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von