Illumination device

WO2007132508 Art A1 22. November 2007

Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007132508
Aktenzeichen
EP06732564
Anmeldetag
12. Mai 2006
Veröffentlichung
22. November 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G02B27/00G02B27/14H01L21/30H01S3/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

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