Illumination device
WO2007132508
Art A1
22. November 2007
Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2007132508
- Aktenzeichen
- EP06732564
- Anmeldetag
- 12. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 22. November 2007
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B27/00G02B27/14H01L21/30H01S3/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Dainippon Screen Mfg
Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.
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