Vibration wave detecting method and device

WO2007132756 Art A1 22. November 2007

Anmelder: The University of Tokyo, Tokyo Electron Limited (TEL) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007132756
Aktenzeichen: EP07743151
Anmeldetag: 11. Mai 2007
Veröffentlichung: 22. November 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01H11/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The University of Tokyo
Tokyo Electron Limited (TEL)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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