Systems and methods for reclaiming process fluids in a processing environment

WO2007135502 Art A1 29. November 2007

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007135502
Aktenzeichen: EP07734554
Anmeldetag: 14. Mai 2007
Veröffentlichung: 29. November 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B01F15/04H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von