Electrostatic Chuck To Limit Particle Deposits Thereon
WO2007136809
Art A2
29. November 2007
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2007136809
- Aktenzeichen
- EP07809115
- Anmeldetag
- 18. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 29. November 2007
- Rechtsraum
- WO
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
690 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.