Immersion fluids for lithography

WO2007140012 Art A2 6. Dezember 2007

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007140012
Aktenzeichen: EP07795441
Anmeldetag: 29. Mai 2007
Veröffentlichung: 6. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B41C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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