Micromachining with short-pulsed, solid-state uv laser

WO2007140168 Art A1 6. Dezember 2007

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007140168
Aktenzeichen: EP07797628
Anmeldetag: 21. Mai 2007
Veröffentlichung: 6. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/36B23K26/00H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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