Gas Flow Control By Differential Pressure Measurements

WO2007142850 Art A2 13. Dezember 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007142850
Aktenzeichen
EP07777248
Anmeldetag
22. Mai 2007
Veröffentlichung
13. Dezember 2007
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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