Methods for trapping charge in a microelectromechanical system and microelectromechanical system employing same

WO2007143058 Art A2 13. Dezember 2007

Anmelder: Robert Bosch GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007143058
Aktenzeichen
EP07795564
Anmeldetag
31. Mai 2007
Veröffentlichung
13. Dezember 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Robert Bosch GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

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