Proximity aligner and proximity exposure method

WO2007145038 Art A1 21. Dezember 2007

Anmelder: NSK Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007145038
Aktenzeichen: EP07742907
Anmeldetag: 7. Mai 2007
Veröffentlichung: 21. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NSK Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NSK

Japanischer Hersteller von Wälzlagern und Präzisionsmaschinenkomponenten mit Sitz in Tokio, unter anderem für Automobil- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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