Placing table structure and heat treatment apparatus

WO2007145070 Art A1 21. Dezember 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007145070
Aktenzeichen: EP07744212
Anmeldetag: 28. Mai 2007
Veröffentlichung: 21. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/46H01L21/02H05B3/06H05B3/20H05B3/74H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von