Diffractive optical device, optical system using the diffractive optical device and method for manufacturing diffractive optical device

WO2007145263 Art A1 21. Dezember 2007

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007145263
Aktenzeichen
EP07745213
Anmeldetag
7. Juni 2007
Veröffentlichung
21. Dezember 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G02B5/18B29D11/00G02B13/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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