Planarization of gan by photoresist technique using an inductively coupled plasma

WO2007145679 Art A2 21. Dezember 2007

Anmelder: Trustees of Boston University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007145679
Aktenzeichen: EP07808979
Anmeldetag: 2. Februar 2007
Veröffentlichung: 21. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Trustees of Boston University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Trustees of Boston University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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