Methods and apparatus for supporting a substrate in a horizontal orientation during cleaning

WO2007145904 Art A2 21. Dezember 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007145904
Aktenzeichen
EP07795720
Anmeldetag
4. Juni 2007
Veröffentlichung
21. Dezember 2007
Rechtsraum
WO
IPC
A46B13/00B08B3/10B08B7/04B24B51/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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