Composite substrate container with overmolded wafer retainer

WO2007146019 Art A2 21. Dezember 2007

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007146019
Aktenzeichen
EP07777419
Anmeldetag
6. Juni 2007
Veröffentlichung
21. Dezember 2007
Rechtsraum
WO
IPC
B65B23/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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