Methods and apparatus for aligning an etalon with a photodiode array

WO2007146337 Art A2 21. Dezember 2007

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007146337
Aktenzeichen: EP07796068
Anmeldetag: 11. Juni 2007
Veröffentlichung: 21. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01J3/45

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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