Methods and apparatus for preventing plasma un-confinement events in a plasma processing chamber

WO2007146803 Art A2 21. Dezember 2007

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007146803
Aktenzeichen: EP07798311
Anmeldetag: 8. Juni 2007
Veröffentlichung: 21. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/00C23C16/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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