Resist Stripping Agent

WO2007148574 Art A1 27. Dezember 2007

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007148574
Aktenzeichen: EP07745145
Anmeldetag: 13. Juni 2007
Veröffentlichung: 27. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/42H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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