Substrate processing system and operation verifying method

WO2007148640 Art A1 27. Dezember 2007

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007148640
Aktenzeichen: EP07745455
Anmeldetag: 18. Juni 2007
Veröffentlichung: 27. Dezember 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B19/418G06Q50/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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