Manufacturing of silicon structures smaller than optical resolution limits

WO2007149655 Art A1 27. Dezember 2007

Anmelder: ATMEL CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007149655
Aktenzeichen
EP07762185
Anmeldetag
15. Mai 2007
Veröffentlichung
27. Dezember 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/44
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ATMEL CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Atmel

Atmel war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller für Mikrocontroller und wurde 2016 von Microchip Technology übernommen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Elektronik. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2021.

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