Surface inspecting apparatus and surface inspecting method

WO2008001731 Art A1 3. Januar 2008

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Japan System Design Co., Ltd., Sigma Co. Ltd., Sanzo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2008001731
Aktenzeichen
EP07767534
Anmeldetag
25. Juni 2007
Veröffentlichung
3. Januar 2008
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Japan System Design Co., Ltd.
Sigma Co. Ltd.
Sanzo Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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