Oscillating wave detection method and device

WO2008001798 Art A1 3. Januar 2008

Anmelder: The University of Tokyo, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2008001798
Aktenzeichen: EP07767666
Anmeldetag: 27. Juni 2007
Veröffentlichung: 3. Januar 2008
Rechtsraum: WO
IPC: G01H11/08G01H13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The University of Tokyo
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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